物理気相成長（PVD）、化学気相成長（CVD）、プラズマエッチング、電子ビーム、露光プロセスなどの半導体製造・薄膜加工や検査工程に関する数値計算システムの導入支援を行います。当事業では商用ツールではなく大学の研究室等で開発されているシステムの産学連携による活用を想定しています。海外大学・研究機...
・表面波プラズマの電磁場解析
半導体製造プロセスで多く用いられるのは容量結合型／誘導結合型放電という方式で、商用シミュレーションツールの応用例も豊富ですが、高密度のプラズマを生成する表面波モードのマイクロ波励起プラズマに対応した商用ツールは少数です。一方、例えば金属機械部品の摩擦低減のためのダイヤモンドライクカーボン(DLC)成膜手法として表面波プラズマは注目されていて、シミュレーションの研究もされています。このようなシミュレーションシステムの実用化を行います。
・デバイス微細加工・成膜時の形状進展の解析
形状進展シミュレーションは歴史の長い商用ツールがありますが、ウエットエッチングや化学的気相反応(CVD)など個々の加工プロセスについて物理・化学モデルが十分に備わっているとは言えません。また、大手半導体メーカーが生産するプロセッサやメモリ向けではなく、例えばマイクロLED作製のための窒化ガリウム(GaN)の成膜・加工などの用途では応用例が少なく、大手ベンダの商用ツールでは対応が困難です。上記のようなプロセスや用途に特化した形状進展シミュレーションの実現します。
・結晶の液相成長の解析
液相成長による単結晶材料の製造は、半導体向けのシリコンウエハを始めとして日本の得意分野であり、結晶成長過程の数値シミュレーションの研究も盛んに行われてきましたが、商用ツールは少数です。一方で単結晶材料開発の研究は近年も盛んであり、大学発ベンチャーによる事業化も目立ちます。液相成長は長時間を要するため、シミュレーションによるプロセス最適化・生産効率の向上を実現します。
東京都
液体試料中の元素の定性分析・定量分析固体試料中の元素の定量分析を行う装置です。
※組織により上記実験ができない場合がございます。
茨城県
温度・湿度・CO2濃度を一定で安定した環境にし、細胞をより生理的条件に近い状態で培養するための装置です。（https://www.yamato-net.co.jp/qa/detail/5/）
茨城県
薄膜(はくまく)形成装置の一つで、半導体の表面に薄い膜を堆積する装置です。
※組織により上記実験ができない場合がございます。
埼玉県
細胞培養、DNA、RNA、タンパク質、微生物、動物などを用いた様々な実験が可能です。 長期間（１ヶ月〜）にて使用いただけます！
【細胞培養実験】
細胞毒性試験
美白試験
保湿・バリア試験
皮脂合成試験
抗老化試験
紫外線感受性試験
育毛試験
細胞生存
細胞増殖
細胞遊走
酵素活性
遺伝子・物質発現（mRNA、タンパク質、脂質等）
【タンパク質実験】
タンパク質合成（大腸菌、酵母、昆虫細胞 (バキュロウイルス発現系)、哺乳類細胞 (293細胞系、CHO細胞系など)、コムギセルフリー系）
スクリーニング
【DNA・RNA実験】
遺伝子改変動物作製
環境DNA分析「特定種の在不在検定（特定種の生息判定）」
遺伝子配列解析（種同定、種判定）
エビ・甲殻類病原体の遺伝子判定試験
DNA抽出
アガロース電気泳動
PCR
フラグメント解析
愛知県
細胞培養、DNA、RNA、タンパク質、微生物、動物などを用いた様々な実験が可能です。
【細胞培養実験】
細胞毒性試験
美白試験
保湿・バリア試験
皮脂合成試験
抗老化試験
紫外線感受性試験
育毛試験
細胞生存
細胞増殖
細胞遊走
酵素活性
遺伝子・物質発現（mRNA、タンパク質、脂質等）
【タンパク質実験】
タンパク質合成（大腸菌、酵母、昆虫細胞 (バキュロウイルス発現系)、哺乳類細胞 (293細胞系、CHO細胞系など)、コムギセルフリー系）
スクリーニング
【DNA・RNA実験】
遺伝子改変動物作製
環境DNA分析「特定種の在不在検定（特定種の生息判定）」
遺伝子配列解析（種同定、種判定）
エビ・甲殻類病原体の遺伝子判定試験
DNA抽出
アガロース電気泳動
PCR
フラグメント解析
