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検索結果：すべてのカテゴリ「基板」（13件）

- 茨城県
CVD装置

薄膜(はくまく)形成装置の一つで、半導体の表面に薄い膜を堆積する装置です。

可能な実験例

◯酸化物系の成膜
原料に酸素含有ガスを用いることにより、酸化物薄膜が形成できます。例として絶縁膜などに利用されるSi OやAl2O3、強誘電体として利用されるPZT、超伝導体YBCOなどが成膜できます。その他にも多くの酸化物が研究されています。

◯化合物系の成膜
化合物系薄膜が成膜できます。例として太陽電池や高速通信などに用いられるGaAs、LEDなどに用いられるGaN、パワーデバイスなどに用いられるSiCなどが挙げられます。

◯シリコン系の成膜
広く産業用途で用いられるSiを成膜できます。エピタキシャルSi、polySi、アモルファスSiなど、様々な状態のSiが成膜できます。

◯2次元層状化合物の成膜
近年活発に研究されているグラフェンや金属カルコゲナイドなどを成膜することができます。

◯表面処理
必ずしも平坦でない対象物表面にも処理できるため、凹凸の多い対象の表面処理などに用いられます。例として切削工具などの耐摩耗性を向上させるTiC、TiCNなどがあります。

※組織により上記実験ができない場合がございます。
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- 茨城県
EDX(SEM-EDX)

SEM(走査型電子顕微鏡)にEDX(エネルギー分散型X線分析装置)を装備しており、観察領域における組成分析・元素マッピングができます。

可能な実験例

○部品の破損原因の特定
劣化して破損してしまった部品を表面分析することにより、本来部品に含まれていない成分などの有無を調べ、外的要因がないかどうかを判断することができます。

○金属中の変色調査
変色してしまった金属製品を測定しマッピング分析をすることにより、変色箇所に含まれる成分を特定することができます。

○無機物質の大まかな材料判定
未知の無機物質を測定し、標準試料のデータと照らし合わせることで無機物質の大まかな材料判定をすることができます。

○電子基板上の微小異物の分析
電子基板上に発生した微小異物の元素分析をすることにより、有機物か無機物かを判別することができます。

※組織により上記実験ができない場合がございます。
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- 神奈川県
【神奈川】MLS マスクレス露光装置

PCなどで作成したパターンデータを、フォトマスクなしで直接基板上のフォトレジストに転写する装置です。半導体や金属材料に微細な加工を施すことができ、容易に試作をすることができます。

可能な実験例

・プリント版パターン成型
・微小溝加工
など

用途例

・試作基板の作成
・マイクロチャネル成型
など
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