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EDX(SEM-EDX)

SEM(走査型電子顕微鏡)にEDX(エネルギー分散型X線分析装置)を装備しており、観察領域における組成分析・元素マッピングができます。

可能な実験例

○部品の破損原因の特定
劣化して破損してしまった部品を表面分析することにより、本来部品に含まれていない成分などの有無を調べ、外的要因がないかどうかを判断することができます。

○金属中の変色調査
変色してしまった金属製品を測定しマッピング分析をすることにより、変色箇所に含まれる成分を特定することができます。

○無機物質の大まかな材料判定
未知の無機物質を測定し、標準試料のデータと照らし合わせることで無機物質の大まかな材料判定をすることができます。

○電子基板上の微小異物の分析
電子基板上に発生した微小異物の元素分析をすることにより、有機物か無機物かを判別することができます。

※組織により上記実験ができない場合がございます。
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【神奈川】MLS マスクレス露光装置

PCなどで作成したパターンデータを、フォトマスクなしで直接基板上のフォトレジストに転写する装置です。半導体や金属材料に微細な加工を施すことができ、容易に試作をすることができます。

可能な実験例

・プリント版パターン成型
・微小溝加工
など

用途例

・試作基板の作成
・マイクロチャネル成型
など
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EDX(SEM-EDX)

可能な実験例

○部品の破損原因の特定

○金属中の変色調査

○無機物質の大まかな材料判定

○電子基板上の微小異物の分析

【神奈川】MLS マスクレス露光装置

可能な実験例

用途例