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SEM(走査型電子顕微鏡)にEDX(エネルギー分散型X線分析装置)を装備しており、観察領域における組成分析・元素マッピングができます。
※組織により上記実験ができない場合がございます。
PCなどで作成したパターンデータを、フォトマスクなしで直接基板上のフォトレジストに転写する装置です。 半導体や金属材料に微細な加工を施すことができ、容易に試作をすることができます。
・プリント版パターン成型 ・微小溝加工 など
・試作基板の作成 ・マイクロチャネル成型 など