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PCなどで作成したパターンデータを、フォトマスクなしで直接基板上のフォトレジストに転写する装置です。 半導体や金属材料に微細な加工を施すことができ、容易に試作をすることができます。
・プリント版パターン成型 ・微小溝加工 など
・試作基板の作成 ・マイクロチャネル成型 など
電子顕微鏡として各種素材の表面を観察するだけでなく、集束イオンビームを使用して、半導体、金属素材などの各種材料の微細な表面加工を行うとともに、断面形状を観察することができます。 オプションとして、EDS(元素分析)、EBSD(結晶構造解析)を行うことができます。
・SEM画像観察 ・サンプルの電子ビーム加工 ・真空中での断面加工部観察とEDS元素分析 ・EBSD結晶構造解析
・表面観察 ・表面加工
神奈川県
