検索結果:すべてのカテゴリ「コーティング」(12件)
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東京都
機器訪問利用
X線を試料に照射した時に発生する蛍光X線のエネルギーや強度から、物質の成分元素や構成比率を分析できる装置です。
可能な実験例
○合金めっき膜圧の測定
合金
めっきをした試料材料を測定し各
成分の
スペクトルを分析することによって密度、付着量、膜厚を求めることができます。
○基板の電極部周辺の面分析
基板の
電極部分を測定し
元素マッピングすることによって金属の分布を知ることができます。
岩石
粉体状に砕き測定することで岩石に含まれる
成分の種類と量などを分析することができます
廃液を
液体のまま測定することによって、液中に含まれる
成分や量などを分析することができます。
※組織により上記実験ができない場合がございます。
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茨城県
機器訪問利用
電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)は、物質表面に電子線を照射して、そこから発生する特性X線を計測し、試料を構成する元素とその量を測定することができます。
可能な実験例
物質を構成する
元素の
強度比から、
定量分析が可能です。
電子顕微鏡観察面での分析であり、試料全体の
定量分析ではないことに注意が必要です。また標準試料を用いることによって、定量の精度が向上します。
検出した
X線の波長からどのような
元素が含まれているかわかり、未知
物質の組成推定に用いることができます。検出限界は 程度で、0.001質量%(重
元素の場合)で、微量
成分の分析には向きません。
観察面の各位置から検出された
特性X線波長を各
元素ごとに色分けすることにより、
元素マッピング分析が可能です。合金、磁石、鉱石などの相
分離構造観察などに活用されます。
◯デバイスの縦方向組成分析
半導体などのデバイス断面を観察することで、各層を構成する
元素組成がわかります。デバイス構成によっては層膜厚が
分解能以下であるため、各層の組成ずれや層間の
元素拡散の度合いが定性的にわかります。
◯汚染、不純物の組成特定
製品の
不良解析や原因推定の際に有効な手段です。例えば不良があった
半導体製品の表面に意図せず付着しているドロップレットの
構造、組成が分かると、原因特定に役立ちます。
※組織により上記実験ができない場合がございます。