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走査電子顕微鏡(SEM-EDS)による表面形状観察・元素マッピング解析
★ 異物の表面観察・元素マッピング解析 ★ 不良製品の表明形状確認 (金属粉の形態観察と材質の判別など)
10000倍程度まで拡大可能な電子顕微鏡(SEM)で、表面形状観察を行います。元素組成の定性・定量分析(EDX)が可能で、金属・電気部品、食品・医薬品などの材料確認や異物・不良解析に利用可能です。
薄膜・金属等の材料研究、細胞や組織などの生物サンプルの解析など
電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)は、物質表面に電子線を照射して、そこから発生する特性X線を計測し、試料を構成する元素とその量を測定することができます。
※組織により上記実験ができない場合がございます。
半導体及び金属材料などの結晶構造・欠陥構造・歪みなどを解析する装置。 反射率、膜厚・配向、小角散乱による粒径/空孔分布などの測定ができます。 製品や材料の品質・性能確認、不良解析などに利用できます。
・薄膜の反射率測定 ・薄膜膜厚測定 ・液体含有物の粒径測定 ・ゲルの空孔分布 ・BB法 ・PB法 ・Inplane測定 など
・残留応力測定 ・結晶成分分析 など