電子加速電圧:1.2MV 最高分解能：43pm 球面収差補正器装備

電子線ホログラフィ―機能
高分解能観察ステージ（最高分解能43pm ）、
磁場フリー観察ステージ（分解能～235pm)
磁場印加（～500mT）
液体He冷却

電子加速電圧:1MV 最高分解能：120pm

電子線ホログラフィ―機能
高分解能観察ステージ（分解能～120pm ）、
磁場フリー観察ステージ
磁場印加（～500mT）
液体He冷却

電子加速電圧:350kV 最高分解能：200pm

電子線ホログラフィ―機能
高分解能観察ステージ（分解能～200pm ）、
磁場フリー観察（＜～100mT）

薄膜試料、粉末試料、バルク試料の定量分析、構造評価ができる。

・X線発生部：最大定格出力：３kW , ターゲット(Cu,Co)
・ゴニオメータ部：試料水平配置型θ－θゴニオメータ
・試料台回転アタッチメント（ナイフエッジ付）：β軸±360°　スピン速度1～120rpm　
...

ナノスケールの微細加工、観察、分析、透過電子顕微鏡用試料作製ができる。 ...

・ FIB加工過程をSEMにてリアルタイムで観察可能。
・ TEM試料作製及びアトムプローブ試料作製が可能。
・ 自動機能にて、FIBスライス加工。
・ 同一視野での、SEM画像取得（EBSD,EDS測定含む...

試料の特性Ｘ線の波長や強度、二次電子や反射電子量を測定して試料の構成元素や...

電子像観察、定性分析、定量分析、元素分布観察、定量マッピング、相分析
・ 加速電圧： 1～30ｋV、二次電子分解能：3nm、倍率：×40～×300,000
・ 分析元素範囲：　B～U 、X線分光範囲WDS：　0...

表面深さ～10nmから放出される光電子スペクトルを測定し、表面の組成ならび...

・ 走査型X線源によりビーム径は、10μm～200μm の間で設定可能。
・ Scanning Xray Image のその場観察により、より正確、迅速な分析位置の決定が可能。
・ 低エネルギー電子とイオン同時...

この走査電子顕微鏡は、スーパーハイブリッドレンズの照射系により高い分解能観...

分解能は、加速電圧0.1ｋＶ～30ｋVで分解能3.0～0.8nm以下、スーパーハイブリッドレンズの採用により磁性材料の観察可能。EDS分析、EBSD分析（極点図・逆極点図）、大気非暴露試料保持対策、低真空観察ユニッ...

精密構造解析、金属、酸化物はもとより、タンパク質結晶などの構造解析ができる。　

・X線発生部：最大定格出力：1.2ｋW（実効焦点サイズ φ0.07ｍｍ）、ターゲット：2色管球（Cu・Mo)　
・ゴニオメータ部：測定範囲：２θ＝－60～＋144°
・光学系部：２色（Cu,Mo)対応共焦点直交...

温度変化による伸縮や位置精度を必要とする設備、微細測定機器などの設備にクリ...

用途
半導体製造、精密加工、精密測定器　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
仕様
・室内有効内面積：5100(W)×3350(D)×2230(H)
・照明・窓：UVカット仕様
・洗浄度：IS...