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クリーンルーム（クラス1000～10000）や、スパッタ、電子ビーム蒸着装置、マスクレス露光装置、SPM (走査型プローブ顕微鏡)を完備しています。半導体に関する幅広い実験に対応しています。
機器の持ち込み 可能 外部者の居室の有 ラボのWi-Fi利用不可 駐車場利用可能
・半導体 ・成膜
長期間（１ヶ月〜）の利用が可能です。
2022年4月に新設したばかりで、非常にきれいです。 クリーン度：ISO146644-1規格 class6対応 米国連邦規格 1000 洗浄度測定報告書あります。 クリーン環境が必要なカテゴリーにほぼ対応のクリーン度を実現！
半導体関係の装置製造、組み立て、試験。 食品関係設備の装置製造、組み立て、試験。
東京都
