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有機合成から有機薄膜デバイスの試作・評価まで対応可能なラボです。 ドラフトチャンバーを備え、有機溶剤を用いた実験環境を確保。材料の精製装置や薄膜形成装置を活用し、半導体研究に必要な有機薄膜デバイスの作製を行うことができます。さらに、電気特性測定や膜厚測定などの評価機器も整備しており、少量合成か...
クリーンルーム(クラス1000~10000)や、スパッタ、電子ビーム蒸着装置、マスクレス露光装置、SPM (走査型プローブ顕微鏡)を完備しています。半導体に関する幅広い実験に対応しています。