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液体試料中の元素の定性分析・定量分析固体試料中の元素の定量分析を行う装置です。

観察対象物に対して前処理が一切不要で、そのままの状態での観察・測定が可能です。観察視野全てに焦点が合った超深度画像での観察が可能で、短波長レーザと白色光源を併用することで、高解像度と色情報を両立した高精細リアルカラー超深度画像での観察が可能です。非接触なので様々な対象物に対応するうえ、観察視野...

電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)は、物質表面に電子線を照射して、そこから発生する特性X線を計測し、試料を構成する元素とその量を測定することができます。

電子顕微鏡として各種素材の表面を観察することができます。 オプションとして、EDS(元素分析)、CL(カソードルミネッセンス解析)を行うことができます。

電子顕微鏡として各種素材の表面を観察するだけでなく、集束イオンビームを使用して、半導体、金属素材などの各種材料の微細な表面加工を行うとともに、断面形状を観察することができます。 オプションとして、EDS(元素分析)、EBSD(結晶構造解析)を行うことができます。

ガス状化合物の元素・質量分析に活用できます。ガス状試料の化学的特性を容易に分析することができるので、化学素材・中間素材製品などの化学的な分析・評価に活用できます。

液状化合物の元素・質量分析に活用できます。液体試料の化学的特性を容易に分析することができるので、化学素材・中間素材製品などの化学的な分析・評価に活用できます。