半導体 - 研究施設・ラボ・実験室の一覧 | 研究室・実験室探しなら Co-LABO MAKER（コラボメーカー）

茨城県

機器訪問利用

EPMA（電子線マイクロアナライザー装置）

電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)は、物質表面に電子線を照射して、そこから発生する特性X線を計測し、試料を構成する元素とその量を測定することができます。

可能な実験例

◯物質の構成元素の定量分析

物質を構成する元素の強度比から、定量分析が可能です。電子顕微鏡観察面での分析であり、試料全体の定量分析ではないことに注意が必要です。また標準試料を用いることによって、定量の精度が向上します。

◯物質の構成元素の定性分析

検出したX線の波長からどのような元素が含まれているかわかり、未知物質の組成推定に用いることができます。検出限界は程度で、0.001質量％（重元素の場合）で、微量成分の分析には向きません。

◯相分離 構造のマッピング分析

観察面の各位置から検出された特性 X線波長を各元素ごとに色分けすることにより、元素マッピング分析が可能です。合金、磁石、鉱石などの相分離構造観察などに活用されます。

◯デバイスの縦方向組成分析

半導体などのデバイス断面を観察することで、各層を構成する元素組成がわかります。デバイス構成によっては層膜厚が分解能以下であるため、各層の組成ずれや層間の元素拡散の度合いが定性的にわかります。

◯汚染、不純物の組成特定

製品の不良解析や原因推定の際に有効な手段です。例えば不良があった半導体製品の表面に意図せず付着しているドロップレットの構造、組成が分かると、原因特定に役立ちます。

※組織により上記実験ができない場合がございます。

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機器訪問利用

X線回折装置（XRD）

化合物の同定・定量分析や、結晶構造の解析を行うことができます。

可能な実験例

試料の定性・定量分析・相同定

粉末X線回折法により得られた回折パターンを、既知物質の回折パターンと比較することで試料の定性・定量分析や相同定をすることができます。

格子定数・イオン半径・原子座標位置の算出

粉末X線回折法により得られた回折パターンのフィッテングを行うことで、試料の格子定数・イオン半径・原子座標位置を算出することができます。

分子の三次元構造の決定

単結晶 X線回折法により得られた回折パターンから、分子の三次元構造を決定することができます。

試料の格子歪・残留応力の測定

X線回折法により得られた回折パターンから、ピーク位置のずれや幅を測定することで試料の格子歪・残留応力の算出をすることができます。

結晶方位の測定

試料に照射するX線の角度を変化させながら、任意の結晶方位の回折ピークを測定することで試料の結晶方位を測定することができます。

結晶配向性の測定

特定のピーク位置における回折強度分布を測定することで、結晶の配向性を測定することができます。

※組織により上記実験ができない場合がございます。

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神奈川県

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【神奈川】XRD 多目的X線回折装置

半導体及び金属材料などの結晶構造・欠陥構造・歪みなどを解析する装置。反射率、膜厚・配向、小角散乱による粒径/空孔分布などの測定ができます。製品や材料の品質・性能確認、不良解析などに利用できます。

可能な実験例

・薄膜の反射率測定
・薄膜膜厚測定
・液体含有物の粒径測定
・ゲルの空孔分布
・BB法
・PB法
・Inplane測定
など

用途例

・残留応力測定
・結晶成分分析
など

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神奈川県

機器訪問利用

【神奈川】MLS マスクレス露光装置

PCなどで作成したパターンデータを、フォトマスクなしで直接基板上のフォトレジストに転写する装置です。半導体や金属材料に微細な加工を施すことができ、容易に試作をすることができます。

可能な実験例

・プリント版パターン成型
・微小溝加工
など

用途例

・試作基板の作成
・マイクロチャネル成型
など

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機器訪問利用

【神奈川】FIB/SEM 集束イオンビーム付き走査型電子顕微鏡

電子顕微鏡として各種素材の表面を観察するだけでなく、集束イオンビームを使用して、半導体、金属素材などの各種材料の微細な表面加工を行うとともに、断面形状を観察することができます。オプションとして、EDS(元素分析)、EBSD(結晶構造解析)を行うことができます。

可能な実験例

・SEM画像観察
・サンプルの電子ビーム加工
・真空中での断面加工部観察とEDS 元素分析
・EBSD 結晶構造解析

用途例

・表面観察
・表面加工

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EPMA（電子線マイクロアナライザー装置）

可能な実験例

◯物質の構成元素の定量分析

◯物質の構成元素の定性分析

◯相分離構造のマッピング分析

◯デバイスの縦方向組成分析

◯汚染、不純物の組成特定

X線回折装置（XRD）

可能な実験例

試料の定性・定量分析・相同定

格子定数・イオン半径・原子座標位置の算出

分子の三次元構造の決定

試料の格子歪・残留応力の測定

結晶方位の測定

結晶配向性の測定

【神奈川】XRD 多目的X線回折装置

可能な実験例

用途例

【神奈川】MLS マスクレス露光装置

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用途例

【神奈川】FIB/SEM 集束イオンビーム付き走査型電子顕微鏡

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