検索結果:すべてのカテゴリ「電子顕微鏡」(25件)
東京都
機器訪問利用
集束したイオンビームを試料に照射し、加工や観察を行う装置です。
可能な実験例
イオン の
スパッタ 時に放出される二次電子を信号として
可視化 することにより画像として得られます。
SIM 像は、
SEM 像に比べて組成や
結晶 方位のコントラストが強く現れるため、金属などの微細
構造 組成の分布観察や
結晶 粒の観察などに適しています。
◯マイクロサンプリング 透過型電子顕微鏡 (
TEM :Transmission Electron Micro-scope)などにより微少領域を観察する際などに用いる微少ブロックの形成(マイクロサンプリング法)に用いられます。
TEM 試料台に搭載後、ビームの
特性 とマニピュレータ機能を組み合わせて、厚さ100nm程度の目的部位を摘出します。また
FIB 加工と
顕微鏡観察 を繰り返し、得られた連続画像をコンピューター上で再構成することにより、試料の三次元
構造解析 が可能となります。
◯破断の難しい試料の電子顕微鏡 観察像取得 試料の断面
構造 を観察する場合に、破断の難しい試料(金属や
有機物 など柔らかく、破断前後で形状が変わってしまうの)にも機械的なストレスを与えることなく断面を得ることができます。例として半田ボールの断面加工や有機系太陽
電池 などが挙げられ、
EDX などの組
成分 析とあわせて活用できます。
◯微少領域の断面加工 試料が均質でなく、観察したい箇所が試料断面の一部分や数
μm 程度の大きさである場合も、
SIM 観察しながら細く絞ったビームで断面加工を行うことができます。例として
基板 上の
異物 観察による成長
メカニズム 解析、
めっき の不良箇所、未着部分観察など、狙って断面を出すことが難しい試料でも加工を行うことができます。
※組織により上記実験ができない場合がございます。
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東京都
機器訪問利用
料と探針の原子間にはたらく力を検出して画像を得る装置です。
可能な実験例
基材と
薄膜 界面近辺を測定することにより、膜厚がわかります。例として
蒸着 膜やSAMs、LB膜などが挙げられます。
分子 構造 と膜厚から層数がわかることもあります。
◯原子レベル平坦結晶 面の観察研磨 した単結晶 基板 や単結晶 のへき開面などは原子レベルで平坦なことがあり、AFM によりステップ&テラス構造 が観察されることがあります。結晶 面の成長過程観察により成長メカニズム の解明に役立ちます。
◯表面荒さの測定 観察した表面の荒さや凹凸の度合いを測定することができます。平均面荒さ(Ra)や自乗平均面荒さ(RMS)、面内最大高低差(Rmax )といった数値であらわされます。
◯生体材料の測定 タッピングモードやノンコンタクトモード測定などを用いることにより、対象物を破壊することなく測定することができます。柔らかく変位し易い生体材料などの表面測定に適しており、プローブのしなりなどから細胞膜の弾性率などを測定することもできます。
※組織により上記実験ができない場合がございます。
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茨城県
機器訪問利用
SEM(走査型電子顕微鏡)にEDX(エネルギー分散型X線分析装置)を装備しており、観察領域における組成分析・元素マッピングができます。
可能な実験例
○部品の破損原因の特定 劣化 して破損してしまった部品を
表面分析 することにより、本来部品に含まれていない
成分 などの有無を調べ、外的要因がないかどうかを判断することができます。
○金属中の変色調査 変色してしまった金属
製品 を測定し
マッピング 分析をすることにより、変色箇所に含まれる
成分 を特定することができます。
○無機物質 の大まかな材料判定 未知の
無機物質 を測定し、標準試料のデータと照らし合わせることで
無機物質 の大まかな材料判定をすることができます。
○電子基板 上の微小異物 の分析 電子
基板 上に発生した微小
異物 の
元素分析 をすることにより、
有機物 か
無機物 かを
判別 することができます。
※組織により上記実験ができない場合がございます。
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茨城県
機器訪問利用
電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)は、物質表面に電子線を照射して、そこから発生する特性X線を計測し、試料を構成する元素とその量を測定することができます。
可能な実験例
物質 を構成する
元素 の
強度 比から、
定量分析 が可能です。
電子顕微鏡 観察面での分析であり、試料全体の
定量分析 ではないことに注意が必要です。また標準試料を用いることによって、定量の精度が向上します。
検出した
X線 の波長からどのような
元素 が含まれているかわかり、未知
物質 の組成推定に用いることができます。検出限界は 程度で、0.001質量%(重
元素 の場合)で、微量
成分 の分析には向きません。
観察面の各位置から検出された
特性 X線 波長を各
元素 ごとに色分けすることにより、
元素マッピング 分析が可能です。合金、磁石、鉱石などの相
分離 構造 観察などに活用されます。
◯デバイスの縦方向組成分 析 半導体 などのデバイス断面を観察することで、各層を構成する
元素 組成がわかります。デバイス構成によっては層膜厚が
分解能 以下であるため、各層の組成ずれや層間の
元素 拡散の度合いが定性的にわかります。
◯汚染、不純物の組成特定 製品 の
不良解析 や原因推定の際に有効な手段です。例えば不良があった
半導体 製品 の表面に意図せず付着しているドロップレットの
構造 、組成が分かると、原因特定に役立ちます。
※組織により上記実験ができない場合がございます。
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