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電子加速電圧:1.2MV 最高分解能：43pm 球面収差補正器装備

電子線ホログラフィ―機能
高分解能観察ステージ（最高分解能43pm ）、
磁場フリー観察ステージ（分解能～235pm)
磁場印加（～500mT）
液体He冷却

電子加速電圧:1MV 最高分解能：120pm

電子線ホログラフィ―機能
高分解能観察ステージ（分解能～120pm ）、
磁場フリー観察ステージ
磁場印加（～500mT）
液体He冷却

電子加速電圧:350kV 最高分解能：200pm

電子線ホログラフィ―機能
高分解能観察ステージ（分解能～200pm ）、
磁場フリー観察（＜～100mT）

薄膜試料、粉末試料、バルク試料の定量分析、構造評価ができる。

・X線発生部：最大定格出力：３kW , ターゲット(Cu,Co)
・ゴニオメータ部：試料水平配置型θ－θゴニオメータ
・試料台回転アタッチメント（ナイフエッジ付）：β軸±360°　スピン速度1～120rpm　
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ナノスケールの微細加工、観察、分析、透過電子顕微鏡用試料作製ができる。 ...

・ FIB加工過程をSEMにてリアルタイムで観察可能。
・ TEM試料作製及びアトムプローブ試料作製が可能。
・ 自動機能にて、FIBスライス加工。
・ 同一視野での、SEM画像取得（EBSD,EDS測定含む...