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薄膜(はくまく)形成装置の一つで、半導体の表面に薄い膜を堆積する装置です。

電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)は、物質表面に電子線を照射して、そこから発生する特性X線を計測し、試料を構成する元素とその量を測定することができます。

半導体及び金属材料などの結晶構造・欠陥構造・歪みなどを解析する装置。 反射率、膜厚・配向、小角散乱による粒径/空孔分布などの測定ができます。 製品や材料の品質・性能確認、不良解析などに利用できます。

電子顕微鏡として各種素材の表面を観察するだけでなく、集束イオンビームを使用して、半導体、金属素材などの各種材料の微細な表面加工を行うとともに、断面形状を観察することができます。 オプションとして、EDS(元素分析)、EBSD(結晶構造解析)を行うことができます。

ガス状化合物の元素・質量分析に活用できます。ガス状試料の化学的特性を容易に分析することができるので、化学素材・中間素材製品などの化学的な分析・評価に活用できます。

標準物質なしで、固体および液体中のF～Uまでの元素の定性分析・半定量分析が可能

共同研究、連携研究など半年以上一緒にやりませんか

長期間（１ヶ月〜）にて使用いただけます！

細胞培養、DNA、RNA、タンパク質、微生物、動物などを用いた様々な実験が可能です。長期間にてご使用いただけます！

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