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Ｘ線照射により放出される光電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面の元素の種類・存在量・化学結合状態を調べる装置です。

円偏光の吸収の差（円二色性： CD）を測定する装置です。光学活性な分子の構造や電子状態、立体配置に関する情報が得られます。

集束したイオンビームを試料に照射し、加工や観察を行う装置です。

物理学・化学・生物学の実験や検査などで広く用いられている、光学的性質を測定することができる装置です。

飛行時間型二次イオン質量分析法（TOF-SIMS：Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry)は、固体試料にイオンビーム（一次イオン）を照射し、表面から放出されるイオン（二次イオン）を、その飛行時間差（飛行時間は重さの平方根に比例）を利用して質...

Ｘ線を試料に照射した時に発生する蛍光Ｘ線のエネルギーや強度から、物質の成分元素や構成比率を分析できる装置です。

分子構造の決定、物質の同定を行う装置です。

観察対象に電子線をあて、透過した電子線の強弱から観察対象内の電子透過率の空間分布を観察する装置です。

観察対象物に対して前処理が一切不要で、そのままの状態での観察・測定が可能です。観察視野全てに焦点が合った超深度画像での観察が可能で、短波長レーザと白色光源を併用することで、高解像度と色情報を両立した高精細リアルカラー超深度画像での観察が可能です。非接触なので様々な対象物に対応するうえ、観察視野...

プラズマを利用したガスによって加工する方法をドライエッチングと呼び、半導体に精密な凹凸を形成することができます。